Так-с, подходящий материал найден. Это Puralux от dupont
http://www.smokingresistor.com/wp-co..._DataSheet.pdf
Это сэндвич из каптона и меди. Толщина каптона от 12 мк, толщина меди от 0,5 до 2 микрон.
Их пленками я пользовался при создании электростатов.
p.s. У меня получилось из своей алюминизированной пленки получить мембрану с сопротивлением 100 ом, работало всё это неплохо в течении получаса. Через полчаса - обрыв. Посыпалось напыление.